產(chǎn)品名稱(chēng):PURERON陶瓷氣體過(guò)濾器PGF系列
產(chǎn)品型號:PGF
產(chǎn)品介紹
具備高過(guò)濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過(guò)濾器,高水平的去除氣體管道內的粒子,同時(shí)實(shí)現高選擇性。(可以滿(mǎn)足200℃高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下)
性能特點(diǎn)
●對于亞微米LSI工藝,須向使用點(diǎn)供應高純度工藝氣體。為此,**清潔管道也是一個(gè)主要問(wèn)題。為了滿(mǎn)足這些要求,Pureron Japan開(kāi)發(fā)了使用陶瓷作為過(guò)濾元件的全新過(guò)濾器,并在穩定條件下實(shí)現了0.003μm的高精度過(guò)濾。蝕刻和薄膜所需的高選擇性。
●去除諸如水和氧的雜質(zhì)對于尋求高選擇性是非常重要的。為了確保去除雜質(zhì),高溫烘烤是的。Pureron Japan的陶瓷過(guò)濾器就是從這個(gè)角度開(kāi)發(fā)的,可以在200°C下進(jìn)行高溫烘烤。通過(guò)免維護操作降。
●三層過(guò)濾結構,取決于顆粒直徑的大小,很少產(chǎn)生堵塞。與傳統過(guò)濾器相比,陶瓷過(guò)濾器還具有良好的耐久性和耐熱性。因此,生產(chǎn)停工造成的損失很小,實(shí)現了長(cháng)期成本降低。
選型指南
可選功能與配件
過(guò)濾烘烤:200°C,2小時(shí)
金屬帽
對于PGF-8型大流量,請聯(lián)系我們。
技術(shù)參數
去除率:0.003μm
建議流速:10 ? 200L/min.
20℃時(shí)的設計壓力:17MPa(2465PSIG)
正常工作壓力:小于1MPa(145PSIG)
20℃時(shí)允許壓差:max.9.6MPa(1392PSIG)
連續使用溫度:max.120℃
烘烤溫度:200℃
外部泄漏量:2×10?11Pa?立方米/秒(He)以下 (或較少)
結構要素
外殼:SUS316L內面粗度
粗糙度:Rmax0.7μm以下 (或較少)
元件:氧化鋁陶瓷、Al2O3
密封:PTFE
接頭:1/4”、3/8”、1/2”、3/4”墊片密封、壓縮密封等
產(chǎn)品尺寸
天津賽力斯自動(dòng)化科技有限公司是一家集研發(fā)、工程、銷(xiāo)售、技術(shù)服務(wù)于一體的現代化企業(yè),是國內自動(dòng)化領(lǐng)域較具競爭力的設備供應商。公司主要經(jīng)營(yíng)歐美和日韓等發(fā)達國家的機電一體化設備、高精度分析檢測儀器、環(huán)境與新能源工業(yè)設備及電動(dòng)工具等工控自動(dòng)化產(chǎn)品。憑借專(zhuān)業(yè)*的技術(shù)與商務(wù)團隊,公司在為客戶(hù)帶來(lái)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品的同時(shí),還可提供自動(dòng)化工程技術(shù)服務(wù)及成套解決方案。 經(jīng)過(guò)長(cháng)期的誠信經(jīng)營(yíng)及不懈努力,賽力斯目前已與眾多世界**品牌生產(chǎn)廠(chǎng)商達成友好合作關(guān)系并**多個(gè)品牌的中國區代理權,并逐步積累了在工控自動(dòng)化領(lǐng)域關(guān)于貨源渠道、價(jià)格、貨期、服務(wù)等各方面的巨大優(yōu)勢。通過(guò)多年的發(fā)展,在國內我們也與多家設計院、科研院所及集成商有著(zhù)良好的項目合作關(guān)系。 天津賽力斯自創(chuàng )立以來(lái)一直秉承“以誠興業(yè),共存共榮”的經(jīng)營(yíng)理念,視客戶(hù)與伙伴為摯友,視員工為公司較寶貴財富,團結一致,開(kāi)拓創(chuàng )新,勇于打破行業(yè)發(fā)展瓶頸,逐步構建并擴大公司在自動(dòng)化領(lǐng)域的**體化供銷(xiāo)網(wǎng)絡(luò )與服務(wù)中心?!罢闲袠I(yè)較優(yōu)資源,力爭行業(yè)較好口碑,勇做行業(yè)發(fā)展引擎”將是賽力斯人永遠的追求,我們愿與更多的用戶(hù)和國內外優(yōu)質(zhì)品牌供應商攜手并進(jìn),一起為國內工業(yè)發(fā)展貢獻力量,共同發(fā)展,共同繁榮。