中國科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司創(chuàng )立于1958年。公司以創(chuàng )新為理念,經(jīng)過(guò)半個(gè)世紀的發(fā)展,以真空技術(shù)為基礎,面向高端科研儀器、半導體、太陽(yáng)能、LED等高科技、新材料、新能源領(lǐng)域,以裝備制造為主業(yè),成為集研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、服務(wù)為一體的現代企業(yè)。沈陽(yáng)科儀具備先進(jìn)的加工設備和檢測手段。擁有7000平方米的潔凈裝調間和特種工藝清洗線(xiàn);擁有數控加工中心、數控銑床、立式加工中心等先進(jìn)的各類(lèi)加工制造設備100余臺;擁有三坐標測量?jì)x、臥式平衡儀、振動(dòng)/噪聲測試實(shí)驗臺、氦質(zhì)譜檢漏儀等國際先進(jìn)水平的大型檢測試驗儀器設備50余臺。主要產(chǎn)品:一、高端產(chǎn)業(yè)真空應用設備。晶體制備設備:藍寶石晶體爐、碳化硅晶體爐、硅/鍺單晶爐設備等;薄膜制備設備:電子束蒸發(fā)、磁控濺射、硬碳膜設備等;二、科研類(lèi)真空應用設備:各種PVD、CVD薄膜制備設備,真空冶金設備等;三、干式真空獲得設備:系列干式真空泵機組、渦旋干泵、螺桿泵、離子泵、超高真空插板閥,及真空部件等。